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PTR90N萊寶真空計參數說明
變送器開箱之前，檢查包裝材料的各個表面，查看是否存在運輸損壞。檢查可見損壞。如果發現損壞，請立即通知承運方。
請確認變送器包裝中含有以下物件：
? 1 件PTR 90 N PENNINGVAC 變送器
? 1 件中文簡式手冊 (P/N: 300544671_002)
? 1 件德文簡式手冊 (P/N: 300544671_001)
? 1 件產品檢驗測試報告
? 1 件通過按鈕調整設定時需用的銷 (僅適用于 P/N: 230085V02、230071V02、230072V02、230088V02)。
如果缺失任何物件，請聯系 Leybold。
7 300544652_002_C0 - 10/2016 - © Leybold
2 說明
PTR 90 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 1000 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性和冷陰極 (CC) 電離電流的測量結果。
配備 RS232 數字通信接口 (P/N: 230088V02) 或 EtherCAT 數字通信接口 (P/N: 230089V02) 的變送器版本可設置變送器參數，并可提供實時壓力測量結果。更多詳情，請參閱通信協議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 2300085V02) 的變送器版本能夠監控基本的變送器參數。更多詳情，請參閱第 6.4 章。
每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數均在操作溫度范圍內逐一得到溫度補償。
這些變送器用途廣泛，可用作獨立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 PENNINGVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
變送器擁有多達三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設備，獲取壓力讀數，或進行壓力控制。
傳感器技術
變送器含有兩個獨立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統)) 傳感器元件基于熱傳導性的測量結果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。
冷陰極反磁控管采用高電壓陽極、陰極和永磁體。電子向陽極加速，并將通過碰撞而使分子離子化。磁場使電子偏轉，從而使電子在穿過磁場前往陽極時做螺旋形移動。這種螺旋運動增大了電子遇到分子并使分子離子化的機會。
分子離子化產生電流，該電流是壓力的函數。這兩個傳感器元件均極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
應用
變送器可用于眾多不同領域的真空應用中，如：工業應用、研發、半導體、分析和涂料工業中:
? 一般真空壓力測量
? 氣體回填測量和控制
? 涂料
? 質譜儀控制
? 系統過程控制
? 檢測異常壓力，利用設定點繼電器采取妥當的安全措施
? 控制系統壓力
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